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文献
J-GLOBAL ID：201502204838441216
整理番号：15A1073827
スズプラズマの極端紫外線光源におけるイオンとホットアトムの衝撃下の炭素汚染のキャラクタリゼーション
Characterization of carbon contamination under ion and hot atom bombardment in a tin-plasma extreme ultraviolet light source
DOLGOV A.
(MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, Enschede, NLD)
,
LOPAEV D.
(Skobeltsyn Inst. of Nuclear Physics, Moscow State Univ., Moscow, RUS)
,
LEE C.J.
(MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, Enschede, NLD)
,
ZOETHOUT E.
(Dutch Inst. for Fundamental Energy Res. (DIFFER), Nieuwegein, NLD)
,
MEDVEDEV V.
(MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, Enschede, NLD)
,
YAKUSHEV O.
(Inst. for Spectroscopy Russian Acad. of Sciences, Moscow, RUS)
,
BIJKERK F.
(MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, Enschede, NLD)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 353 ページ： 708-713 発行年： 2015年10月30日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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