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文献
J-GLOBAL ID：201502204859377304
整理番号：15A0290443
Si/Cu同時研削・CMP技術によるビアミドルTSV露出工程の開発
山本栄一
(岡本工作機械製作所)
,
吉田剛
(岡本工作機械製作所)
,
三井貴彦
(岡本工作機械製作所)
,
伊東利洋
(岡本工作機械製作所)
,
坂東翼
(岡本工作機械製作所)
資料名：
電子情報通信学会論文誌 C(Web)
巻： J97-C 号： 11 ページ： WEB ONLY 412-419 発行年： 2014年11月01日
JST資料番号： U0472A ISSN： 1881-0217 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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