文献
J-GLOBAL ID:201502204918572435
整理番号:15A1241805
集束イオンビーム(FIB)打ち込みによる機能性電気機械ナノ細線共振器の製造
Fabrication of functional electromechanical nanowire resonators by focused ion beam (FIB) implantation
著者 (5件):
LLOBET J.
(CSIC, Catalonia, ESP)
,
GERBOLES M.
(CSIC, Catalonia, ESP)
,
SANSA M.
(CSIC, Catalonia, ESP)
,
BORRISE X.
(Inst. Catala de Nanociencia i Nanotecnologia (ICN2), Catalonia, ESP)
,
PEREZ-MURANO F.
(CSIC, Catalonia, ESP)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9423
ページ:
94230K.1-94230K.7
発行年:
2015年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)