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文献
J-GLOBAL ID:201502205169023710   整理番号:15A1044664

イオン注入による欠陥制御を用いて作製した圧縮歪みSi/Si1-xCxヘテロ構造の熱的安定性

著者 (7件):
有澤洋
(名古屋大)
星裕介
(名古屋大)
有元圭介
(山梨大)
山中淳二
(山梨大)
中川清和
(山梨大)
澤野憲太郎
(東京都市大)
宇佐美徳隆
(名古屋大)

資料名:
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))

巻: 76th  ページ: ROMBUNNO.13P-2W-5  発行年: 2015年08月31日 
JST資料番号: Y0055B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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