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文献
J-GLOBAL ID：201502205169023710
整理番号：15A1044664
イオン注入による欠陥制御を用いて作製した圧縮歪みSi/Si1-xCxヘテロ構造の熱的安定性
有澤洋
(名古屋大)
,
星裕介
(名古屋大)
,
有元圭介
(山梨大)
,
山中淳二
(山梨大)
,
中川清和
(山梨大)
,
澤野憲太郎
(東京都市大)
,
宇佐美徳隆
(名古屋大)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 76th ページ： ROMBUNNO.13P-2W-5 発行年： 2015年08月31日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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