文献
J-GLOBAL ID:201502205190771210
整理番号:15A0476966
ルテニウム上の銅マンガン合金のバリア特性の調査
Investigation of Barrier Property of Copper Manganese Alloy on Ruthenium
著者 (5件):
SU Yin-Hsien
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
WU Sze-Ann
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
WU Chia-Yang
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
WANG Ying-Lang
(National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
,
LEE Wen-Hsi
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
資料名:
IEEE Transactions on Device and Materials Reliability
(IEEE Transactions on Device and Materials Reliability)
巻:
15
号:
1
ページ:
47-53
発行年:
2015年03月
JST資料番号:
W1320A
ISSN:
1530-4388
CODEN:
ITDMA2
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)