文献
J-GLOBAL ID:201502205223551590
整理番号:15A0970763
MEMS白金ヒーターと温度センサの抵抗と安定性に与える接着材料とアニーリング環境の相互作用
Interactions of Adhesion Materials and Annealing Environment on Resistance and Stability of MEMS Platinum Heaters and Temperature Sensors
著者 (4件):
YI Feng
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
,
OSBORN William
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
,
BETZ Jordan
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
,
LAVAN David A.
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
24
号:
4
ページ:
1185-1192
発行年:
2015年08月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)