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J-GLOBAL ID：201502205561537801 整理番号：15A0708826

RFプラズマ重合ヘキサメチルジシラザン薄膜の光熱研究

Photothermal study of RF-plasma polymerized hexamethyldisilazane thin films

著者 (8件)：

JIMENEZ-PEREZ J.L.

(Unidad Profesional Interdisciplinaria en Ingenieria y Tecnologias Avanzadas, Avenida Instituto Politecnico Nacional ...)

ALGATTI M.A.

(FEG-DFQ-UNESP, Campus de Guaratingueta, Av. Ariberto Pereira da Cunha 333, CEP: 12516-410 Guaratingueta, S.P., BRA)

CRUZ San Martin V.

(Escuela Superior de Fisica y Matematicas, Av. Instituto Politecnico Nacional S/N Col. San Pedro Zacatenco, C.P. ...)

MOREIRA Junior P.W.P.

(FEG-DFQ-UNESP, Campus de Guaratingueta, Av. Ariberto Pereira da Cunha 333, CEP: 12516-410 Guaratingueta, S.P., BRA)

MOTA R.R.P.

(FEG-DFQ-UNESP, Campus de Guaratingueta, Av. Ariberto Pereira da Cunha 333, CEP: 12516-410 Guaratingueta, S.P., BRA)

CORREA Pacheco Z.N.

(Unidad Profesional Interdisciplinaria en Ingenieria y Tecnologias Avanzadas, Avenida Instituto Politecnico Nacional ...)

CRUZ-OREA A.

(Departamento de Fisica, Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados del Instituto Politecnico Nacional, Av. ...)

SANCHEZ Ramirez J.F.

(Centro de Investigacion en Biotecnologia Aplicada, Ex-Hacienda San Juan Molino Carretera Estatal ...)

資料名：

Materials Science in Semiconductor Processing (Materials Science in Semiconductor Processing)

巻： 37 ページ： 223-228 発行年： 2015年09月
JST資料番号： W1055A ISSN： 1369-8001 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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