文献
J-GLOBAL ID:201502205561537801
整理番号:15A0708826
RFプラズマ重合ヘキサメチルジシラザン薄膜の光熱研究
Photothermal study of RF-plasma polymerized hexamethyldisilazane thin films
著者 (8件):
JIMENEZ-PEREZ J.L.
(Unidad Profesional Interdisciplinaria en Ingenieria y Tecnologias Avanzadas, Avenida Instituto Politecnico Nacional ...)
,
ALGATTI M.A.
(FEG-DFQ-UNESP, Campus de Guaratingueta, Av. Ariberto Pereira da Cunha 333, CEP: 12516-410 Guaratingueta, S.P., BRA)
,
CRUZ San Martin V.
(Escuela Superior de Fisica y Matematicas, Av. Instituto Politecnico Nacional S/N Col. San Pedro Zacatenco, C.P. ...)
,
MOREIRA Junior P.W.P.
(FEG-DFQ-UNESP, Campus de Guaratingueta, Av. Ariberto Pereira da Cunha 333, CEP: 12516-410 Guaratingueta, S.P., BRA)
,
MOTA R.R.P.
(FEG-DFQ-UNESP, Campus de Guaratingueta, Av. Ariberto Pereira da Cunha 333, CEP: 12516-410 Guaratingueta, S.P., BRA)
,
CORREA Pacheco Z.N.
(Unidad Profesional Interdisciplinaria en Ingenieria y Tecnologias Avanzadas, Avenida Instituto Politecnico Nacional ...)
,
CRUZ-OREA A.
(Departamento de Fisica, Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados del Instituto Politecnico Nacional, Av. ...)
,
SANCHEZ Ramirez J.F.
(Centro de Investigacion en Biotecnologia Aplicada, Ex-Hacienda San Juan Molino Carretera Estatal ...)
資料名:
Materials Science in Semiconductor Processing
(Materials Science in Semiconductor Processing)
巻:
37
ページ:
223-228
発行年:
2015年09月
JST資料番号:
W1055A
ISSN:
1369-8001
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)