文献
J-GLOBAL ID:201502206518517810
整理番号:15A1162153
故障解析におけるナノプロービング用相関SEMとSPM
Correlating SEM and SPM for Nanoprobing in Failure Analysis
著者 (4件):
KEMMLER M.
(Kleindiek Nanotechnik GmbH, Reutlingen, DEU)
,
RUMMEL A.
(Kleindiek Nanotechnik GmbH, Reutlingen, DEU)
,
SCHOCK K.
(Kleindiek Nanotechnik GmbH, Reutlingen, DEU)
,
KLEINDIEK S.
(Kleindiek Nanotechnik GmbH, Reutlingen, DEU)
資料名:
Proceedings of the International Symposium on the Physical & Failure Analysis of Integrated Circuits
(Proceedings of the International Symposium on the Physical & Failure Analysis of Integrated Circuits)
巻:
22nd
ページ:
227-230
発行年:
2015年
JST資料番号:
W1259A
ISSN:
1946-1542
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)