文献
J-GLOBAL ID:201502207411345487
整理番号:15A1061793
深紫外でのアプリケーションのための低温バッファと超格子の連成構造物を利用する高品質AlNの成長と特性評価
Growth and characterization of high quality AlN using combined structure of low temperature buffer and superlattices for applications in the deep ultraviolet
著者 (4件):
KIM Jinwan
(Korea Polytechnic Univ., Gyeonggi, KOR)
,
PYEON Jaedo
(Korea Polytechnic Univ., Gyeonggi, KOR)
,
JEON Minhwan
(Korea Polytechnic Univ., Gyeonggi, KOR)
,
NAM Okhyun
(Korea Polytechnic Univ., Gyeonggi, KOR)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
54
号:
8
ページ:
081001.1-081001.4
発行年:
2015年08月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)