文献
J-GLOBAL ID:201502207591574039
整理番号:15A1399158
薄膜応用に対するホットワイヤ化学蒸着の産業化
Industrialization of Hot Wire Chemical Vapor Deposition for thin film applications
著者 (1件):
SCHROPP R.E.I.
(Eindhoven Univ. of Technol. (TU/e), Dep. of Applied Physics, Plasma & Materials Processing, P.O. Box 513, 5600 MB ...)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
595
号:
PB
ページ:
272-283
発行年:
2015年11月30日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)