文献
J-GLOBAL ID:201502207601867668
整理番号:15A0911457
絶縁破壊システム(BEOL/MOL/FEOL)用サンプリングに基づく再構成法の臨界解析
A Critical Analysis of Sampling-Based Reconstruction Methodology for Dielectric Breakdown Systems (BEOL/MOL/FEOL)
著者 (6件):
WU Ernest
(IBM Res. Div., VT, USA)
,
STATHIS James
(IBM Res. Dev., NY, USA)
,
LI Baozhen
(IBM System and Technol. Group, VT, USA)
,
LINDER Barry
(IBM Res. Dev., NY, USA)
,
ZHAO Kai
(IBM System and Technol. Group, NY, USA)
,
BONILLA Griselda
(IBM Res. Dev., NY, USA)
資料名:
Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium
(Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻:
2015 Vol.1
ページ:
6-16
発行年:
2015年
JST資料番号:
A0631A
ISSN:
1541-7026
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)