文献
J-GLOBAL ID:201502207615325825
整理番号:15A1042853
HiPIMS放電中のスポーク遷移
Spoke transitions in HiPIMS discharges
著者 (5件):
HECIMOVIC A
(Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
,
SCHULZ-VON DER GATHEN V
(Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
,
BOEKE M
(Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
,
VON KEUDELL A
(Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
,
WINTER J
(Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
資料名:
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻:
24
号:
4
ページ:
045005,1-10
発行年:
2015年08月
JST資料番号:
W0479A
ISSN:
0963-0252
CODEN:
PSTEEU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)