文献
J-GLOBAL ID:201502207745539126
整理番号:15A1241850
Gauss型コンボリューションを用いたDSA相互作用距離の研究
Study of DSA Interaction Range using Gaussian Convolution
著者 (7件):
YI He
(Stanford Univ., CA, USA)
,
YI He
(IMEC, Leuven, BEL)
,
BEKAERT Joost
(IMEC, Leuven, BEL)
,
GRONHEID Roel
(IMEC, Leuven, BEL)
,
FENGER Germain
(Mentor Graphics Corp., Leuven, BEL)
,
NAFUS Kathleen
(Tokyo Electron America, Inc., TX, USA)
,
WONG H.-S. Philip
(Stanford Univ., CA, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9423
ページ:
94232A.1-94232A.12
発行年:
2015年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)