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文献
J-GLOBAL ID：201502208610150128
整理番号：15A0999880
(0001)サファイア基材に成長したβ-AlN薄膜の構造の評価
Structural Evaluation of β-AlN Films Grown on Sapphire (0001) Substrates
YOSHIDA Tomohiro
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
YOSHIDA Tomohiro
(Kurume Nat. Coll. Tech., Kurume, JPN)
,
UEDA Yutaro
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
DAIO Takeshi
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
TOMINAGA Aki
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
OKAJIMA Toshihiro
(Saga Light Source, Saga, JPN)
,
YOSHITAKE Tsuyoshi
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名：
Transactions of the Materials Research Society of Japan
(Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 40 号： 3 ページ： 191-194 発行年： 2015年09月
JST資料番号： L4468A ISSN： 1382-3469 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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