文献
J-GLOBAL ID:201502208815446054
整理番号:15A1223750
普遍的感度用の単一円形マスを持つMEMS慣性スイッチ
A MEMS inertial switch with a single circular mass for universal sensitivity
著者 (5件):
CAO Yun
(Nanjing Univ. Sci. and Technol., Nanjing, CHN)
,
XI Zhanwen
(Nanjing Univ. Sci. and Technol., Nanjing, CHN)
,
YU Pingxin
(Nanjing Univ. Sci. and Technol., Nanjing, CHN)
,
WANG Jiong
(Nanjing Univ. Sci. and Technol., Nanjing, CHN)
,
NIE Weirong
(Nanjing Univ. Sci. and Technol., Nanjing, CHN)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
25
号:
10
ページ:
105005,1-11
発行年:
2015年10月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)