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文献
J-GLOBAL ID：201502208890270379
整理番号：15A1245095
MOPA配列中のレーザシステムに関する同調型ガルボおよびポリゴンスキャナを使った超高精度表面構造法の改良
Improvements in ultra-high precision surface structuring using synchronized galvo or polygon scanner with a laser system in MOPA arrangement
ZIMMERMANN M.
(Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE)
,
JAEGGI B.
(Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE)
,
NEUENSCHWANDER B.
(Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 9350 ページ： 935016.1-935016.8 発行年： 2015年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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