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文献

J-GLOBAL ID：201502209207841656 整理番号：15A1045705

CVD法により合成したh-BN多層膜の合成と評価

著者 (5件)：

近藤大雄

(富士通研)

林賢二郎

(富士通研)

片岡真紗子

(富士通研)

岩井大介

(富士通研)

佐藤信太郎

(富士通研)

資料名：

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))

巻： 76th ページ： ROMBUNNO.14P-2T-2 発行年： 2015年08月31日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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