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文献
J-GLOBAL ID：201502209258101834
整理番号：15A0328792
誘電アクチュエータ上の液滴駆動と膜バルク音響共振器センサを持つモノリシック集積化システム
Monolithic integrated system with an electrowetting-on-dielectric actuator and a film-bulk-acoustic-resonator sensor
ZHANG Menglun
(Tianjin Univ., Tianjin, CHN)
,
CUI Weiwei
(Tianjin Univ., Tianjin, CHN)
,
CHEN Xuejiao
(Tianjin Univ., Tianjin, CHN)
,
WANG Chao
(Tianjin Univ., Tianjin, CHN)
,
PANG Wei
(Tianjin Univ., Tianjin, CHN)
,
DUAN Xuexin
(Tianjin Univ., Tianjin, CHN)
,
ZHANG Daihua
(Tianjin Univ., Tianjin, CHN)
,
ZHANG Hao
(Tianjin Univ., Tianjin, CHN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 25 号： 2 ページ： 025002,1-9 発行年： 2015年02月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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