文献
J-GLOBAL ID:201502209271185541
整理番号:15A1102202
リン注入ゲルマニウムのミリ秒非融解レーザアニーリング 窒素共ドーピングの影響
Millisecond non-melt laser annealing of phosphorus implanted germanium: Influence of nitrogen co-doping
著者 (5件):
STATHOPOULOS S.
(Dep. of Physics, National Technical Univ. of Athens, Zografou, Athens 15773, GRC)
,
TSETSERIS L.
(Dep. of Physics, National Technical Univ. of Athens, Zografou, Athens 15773, GRC)
,
PRADHAN N.
(Applied Materials-Varian, Gloucester, Massachusetts 01930, USA)
,
COLOMBEAU B.
(Applied Materials-Varian, Gloucester, Massachusetts 01930, USA)
,
TSOUKALAS D.
(Dep. of Physics, National Technical Univ. of Athens, Zografou, Athens 15773, GRC)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
118
号:
13
ページ:
135710-135710-6
発行年:
2015年10月07日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)