文献
J-GLOBAL ID:201502209434462955
整理番号:15A1339843
周波数検出誘導検知による大垂直変位微小鏡に対するピストン位置と傾斜角の同時検知
Simultaneous piston position and tilt angle sensing for large vertical displacement micromirrors by frequency detection inductive sensing
著者 (2件):
TSENG V. F.-G.
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Florida, Gainesville, Florida 32608, USA)
,
XIE H.
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Florida, Gainesville, Florida 32608, USA)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
107
号:
21
ページ:
214102-214102-5
発行年:
2015年11月23日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)