前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201502209907869349
整理番号：15A1163567
SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究 -第3報:砥石に含まれる塩基の作用の解明と砥石物性値の最適化によるCMGの確立-
Research on Chemo-Mechanical-Grinding (CMG) of Si wafer -3rd report: Behavior of sodium carbonate in CMG wheels and effect of CMG wheel mechanical properties-
田代芳章
(茨城大学大学院理工学研究科)
,
田代芳章
((株) 東京ダイヤモンド工具製作所)
,
周立波
(茨城大学工学部)
,
清水淳
(茨城大学工学部)
,
篠田知顕
((株) 東京ダイヤモンド工具製作所)
,
三上祐樹
(茨城大学大学院)
資料名：
精密工学会誌(Web)
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 81 号： 10 ページ： 957-962 (J-STAGE) 発行年： 2015年
JST資料番号： U0462A ISSN： 1882-675X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。