文献
J-GLOBAL ID:201502210090538203
整理番号:15A1079256
Cu2ZnSnS4化学量論ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリングプラズマ中のCu,Zn,Sn,及びS原子の付着確率
Sticking probabilities of Cu, Zn, Sn, and S atoms in magnetron sputtering plasmas employing a Cu2ZnSnS4 stoichiometric target
著者 (4件):
NAFARIZAL Nayan
(Div. of Quantum Sci. and Engineering, Hokkaido Univ., Kita 13, Nishi 8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN)
,
NAFARIZAL Nayan
(Universiti Tun Hussein Onn Malaysia, Batu Pahat, Johor 86400, Malaysia)
,
KIKUCHI Shunya
(Div. of Quantum Sci. and Engineering, Hokkaido Univ., Kita 13, Nishi 8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN)
,
SASAKI Koichi
(Div. of Quantum Sci. and Engineering, Hokkaido Univ., Kita 13, Nishi 8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
121
ページ:
26-31
発行年:
2015年11月
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)