文献
J-GLOBAL ID:201502210407364869
整理番号:15A1055418
モンテカルロシミュレーションを利用した斜め入射反射計測の感度解析
Sensitivity analysis for oblique incidence reflectometry using Monte Carlo simulations
著者 (2件):
KAMRAN Faisal
(Technical Univ. Denmark, Frederiksborg, DNK)
,
ANDERSEN Peter E.
(Technical Univ. Denmark, Frederiksborg, DNK)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
54
号:
23
ページ:
7099-7105
発行年:
2015年08月10日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)