文献
J-GLOBAL ID:201502210769818809
整理番号:15A1343271
エピタキシャル成長モニタリング用マルチチャネル反射異方性分光器
A multichannel reflectance anisotropy spectrometer for epitaxial growth monitoring
著者 (8件):
ARIZA-FLORES D
(Universidad Autonoma de San Luis Potosi, SLP, MEX)
,
ARIZA-FLORES D
(Catedras Conacyt, Delegacion Benito Juarez, MEX)
,
ORTEGA-GALLEGOS J
(Universidad Autonoma de San Luis Potosi, SLP, MEX)
,
NUNEZ-OLVERA O
(Universidad Autonoma de San Luis Potosi, SLP, MEX)
,
BALDERAS-NAVARRO R E
(Universidad Autonoma de San Luis Potosi, SLP, MEX)
,
LASTRAS-MARTINEZ L F
(Universidad Autonoma de San Luis Potosi, SLP, MEX)
,
GUEVARA-MACIAS L E
(Universidad Autonoma de San Luis Potosi, SLP, MEX)
,
LASTRAS-MARTINEZ A
(Universidad Autonoma de San Luis Potosi, SLP, MEX)
資料名:
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻:
26
号:
11
ページ:
115901,1-5
発行年:
2015年11月
JST資料番号:
C0354C
ISSN:
0957-0233
CODEN:
MSTCEP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)