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文献
J-GLOBAL ID：201502211003308341
整理番号：15A1241748
EUVマスク欠陥の位相測定
Phase measurements of EUV mask defects
CLAUS Rene A.
(Univ. California, Berkeley)
,
WANG Yow-Gwo
(Univ. California, Berkeley)
,
WOJDYLA Antoine
(Lawrence Berkeley National Lab.)
,
BENK Markus P.
(Lawrence Berkeley National Lab.)
,
GOLDBERG Kenneth A.
(Lawrence Berkeley National Lab.)
,
NEUREUTHER Andrew R.
(Univ. California, Berkeley)
,
NAULLEAU Patrick P.
(Lawrence Berkeley National Lab.)
,
WALLER Laura
(Univ. California, Berkeley)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 9422 号： Pt.1 ページ： 941217-941217.6 発行年： 2015年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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