文献
J-GLOBAL ID:201502211065765838
整理番号:15A1349031
ポリマレジスト上のナノグルーブ作製に対するAFMチップを基にした直接及び振動アシストスクラッチングの影響
Effects of AFM tip-based direct and vibration assisted scratching methods on nanogrooves fabrication on a polymer resist
著者 (6件):
GENG Yanquan
(The State Key Lab. of Robotics and Systems, Robotics Inst., Harbin Inst. of Technol., Harbin, Heilongjiang 150080, CHN)
,
GENG Yanquan
(Center for Precision Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, Heilongjiang 150001, CHN)
,
YAN Yongda
(The State Key Lab. of Robotics and Systems, Robotics Inst., Harbin Inst. of Technol., Harbin, Heilongjiang 150080, CHN)
,
YAN Yongda
(Center for Precision Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, Heilongjiang 150001, CHN)
,
ZHUANG Yun
(Center for Precision Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, Heilongjiang 150001, CHN)
,
HU Zhenjiang
(Center for Precision Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, Heilongjiang 150001, CHN)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
356
ページ:
348-354
発行年:
2015年11月30日
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)