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文献
J-GLOBAL ID：201502211065765838
整理番号：15A1349031
ポリマレジスト上のナノグルーブ作製に対するAFMチップを基にした直接及び振動アシストスクラッチングの影響
Effects of AFM tip-based direct and vibration assisted scratching methods on nanogrooves fabrication on a polymer resist
GENG Yanquan
(The State Key Lab. of Robotics and Systems, Robotics Inst., Harbin Inst. of Technol., Harbin, Heilongjiang 150080, CHN)
,
GENG Yanquan
(Center for Precision Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, Heilongjiang 150001, CHN)
,
YAN Yongda
(The State Key Lab. of Robotics and Systems, Robotics Inst., Harbin Inst. of Technol., Harbin, Heilongjiang 150080, CHN)
,
YAN Yongda
(Center for Precision Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, Heilongjiang 150001, CHN)
,
ZHUANG Yun
(Center for Precision Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, Heilongjiang 150001, CHN)
,
HU Zhenjiang
(Center for Precision Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, Heilongjiang 150001, CHN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 356 ページ： 348-354 発行年： 2015年11月30日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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