文献
J-GLOBAL ID:201502211078544806
整理番号:15A1369056
シリコン歩留りモデリングのためのトポグラフィーを意識したDFMルールに基づくスコアリング
TOPOGRAPHY AWARE DFM RULE BASED SCORING FOR SILICON YIELD MODELING
著者 (4件):
TRIPATHI Vikas
(GLOBALFOUNDRIES, Singapore)
,
KATAKAMSETTY Ushasree
(GLOBALFOUNDRIES, Singapore)
,
SKY Yeo
(GLOBALFOUNDRIES, Singapore)
,
COLIN Hui
(GLOBALFOUNDRIES, Singapore)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9427
ページ:
94270V.1-94270V.7
発行年:
2015年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)