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文献
J-GLOBAL ID：201502211128118861
整理番号：15A0654133
グラフェンのマスクレスレーザ処理
Maskless laser processing of graphene
WAKAYA Fujio
(Center for Sci. and Technol. under Extreme Conditions, Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ., 1-3 ...)
,
KURIHARA Tadashi
(Center for Sci. and Technol. under Extreme Conditions, Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ., 1-3 ...)
,
YURUGI Nariaki
(Center for Sci. and Technol. under Extreme Conditions, Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ., 1-3 ...)
,
ABO Satoshi
(Center for Sci. and Technol. under Extreme Conditions, Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ., 1-3 ...)
,
ABE Masayuki
(Center for Sci. and Technol. under Extreme Conditions, Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ., 1-3 ...)
,
TAKAI Mikio
(Center for Sci. and Technol. under Extreme Conditions, Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ., 1-3 ...)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 141 ページ： 203-206 発行年： 2015年06月15日
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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