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文献
J-GLOBAL ID：201502212027382042
整理番号：15A1063060
負荷コイルにおけるRF電圧と電流の直接測定用新規プローブを用いて標準および低ガスフローICPの電気特性に関する研究と対応するICP出力の計算
Investigation of the electrical properties of standard and low-gas-flow ICPs using novel probes for the direct measurements of RF voltage and current in the load coil and the corresponding calculation of the ICP power
VORONOV M.
(IFW Dresden, Inst. for Complex Materials, P.O. Box 270116, D-01171 Dresden, Germany. VoronovMV@mail.ru)
,
HOFFMANN V.
,
BIRUS D.
,
ENGELHARD C.
,
BUSCHER W.
資料名：
Journal of Analytical Atomic Spectrometry
(Journal of Analytical Atomic Spectrometry)
巻： 30 号： 10 ページ： 2089-2098 発行年： 2015年10月23日
JST資料番号： C0770C ISSN： 0267-9477 CODEN： JASPE2 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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