文献
J-GLOBAL ID:201502212027382042
整理番号:15A1063060
負荷コイルにおけるRF電圧と電流の直接測定用新規プローブを用いて標準および低ガスフローICPの電気特性に関する研究と対応するICP出力の計算
Investigation of the electrical properties of standard and low-gas-flow ICPs using novel probes for the direct measurements of RF voltage and current in the load coil and the corresponding calculation of the ICP power
著者 (5件):
VORONOV M.
(IFW Dresden, Inst. for Complex Materials, P.O. Box 270116, D-01171 Dresden, Germany. VoronovMV@mail.ru)
,
HOFFMANN V.
,
BIRUS D.
,
ENGELHARD C.
,
BUSCHER W.
資料名:
Journal of Analytical Atomic Spectrometry
(Journal of Analytical Atomic Spectrometry)
巻:
30
号:
10
ページ:
2089-2098
発行年:
2015年10月23日
JST資料番号:
C0770C
ISSN:
0267-9477
CODEN:
JASPE2
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)