文献
J-GLOBAL ID:201502212194240798
整理番号:15A0693560
RF MEMS中の熱誘起残留応力のモデリングと実験検証
Modeling and experimental verification of thermally induced residual stress in RF-MEMS
著者 (2件):
SOMA Aurelio
(Politecnico di Torino, Torino, ITA)
,
SALEEM Muhammad Mubasher
(Politecnico di Torino, Torino, ITA)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
25
号:
5
ページ:
055007,1-15
発行年:
2015年05月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)