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文献
J-GLOBAL ID：201502213148094350
整理番号：15A1311790
電解銅ビアフィリング成績に及ぼすSPS分解生成物1,3-プロパンジスルホン酸の影響
Influence of SPS Decomposition Product 1,3-Propane Disulfonic Acid on Electrolytic Copper Via Filling Performance
KIMIZUKA Ryoichi
(Kanto Gakuin Univ., Yokohama, JPN)
,
KIMIZUKA Ryoichi
(JCU Co., Kanagawa, JPN)
,
TODA Hisayuki
(JCU Co., Kanagawa, JPN)
,
EDA Tetsuro
(JCU Co., Kanagawa, JPN)
,
KISHIMOTO Kazuki
(JCU Co., Kanagawa, JPN)
,
OH Reisei
(JCU Co., Kanagawa, JPN)
,
HONMA Hideo
(Kanto Gakuin Univ., Yokohama, JPN)
,
TAKAI Osamu
(Kanto Gakuin Univ., Yokohama, JPN)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 162 号： 12 ページ： D584-D588 発行年： 2015年
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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