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文献
J-GLOBAL ID：201502213788382700
整理番号：15A0227974
ラジオ周波数マグネトロンスパッタリングによるペロブスカイト型酸化および酸窒化物(Sr,La)-(Ta,Ti)O-N薄膜の成長:反応性雰囲気の薄膜構造への影響
Growth of (Sr,La)-(Ta,Ti)-O-N perovskite oxide and oxynitride films by radio frequency magnetron sputtering: Influence of the reactive atmosphere on the film structure
LE Paven C.
(Inst. d’Electronique et de Telecommunications de Rennes (IETR, UMR-CNRS 6164), Equipe Materiaux Fonctionnels, IUT ...)
,
LE Gendre L.
(Inst. d’Electronique et de Telecommunications de Rennes (IETR, UMR-CNRS 6164), Equipe Materiaux Fonctionnels, IUT ...)
,
BENZERGA R.
(Inst. d’Electronique et de Telecommunications de Rennes (IETR, UMR-CNRS 6164), Equipe Materiaux Fonctionnels, IUT ...)
,
CHEVIRE F.
(Inst. des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR, UMR-CNRS 6226), Equipe Verres et Ceramiques, Univ. de Rennes 1, 35042 ...)
,
TESSIER F.
(Inst. des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR, UMR-CNRS 6226), Equipe Verres et Ceramiques, Univ. de Rennes 1, 35042 ...)
,
JACQ S.
(Inst. d’Electronique et de Telecommunications de Rennes (IETR, UMR-CNRS 6164), Equipe Materiaux Fonctionnels, IUT ...)
,
TRAORE-MANTION S.
(Inst. d’Electronique et de Telecommunications de Rennes (IETR, UMR-CNRS 6164), Equipe Materiaux Fonctionnels, IUT ...)
,
SHARAIHA A.
(Inst. d’Electronique et de Telecommunications de Rennes (IETR, UMR-CNRS 6164), Equipe Materiaux Fonctionnels, IUT ...)
資料名：
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻： 413 ページ： 5-11 発行年： 2015年03月01日
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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