文献
J-GLOBAL ID:201502213914019137
整理番号:15A1308926
低圧容量性放電中の直列共振強化高調波による非線形定在波励起
Nonlinear standing wave excitation by series resonance-enhanced harmonics in low pressure capacitive discharges
著者 (4件):
LIEBERMAN M A
(Univ. California, CA, USA)
,
LICHTENBERG A J
(Univ. California, CA, USA)
,
KAWAMURA E
(Univ. California, CA, USA)
,
MARAKHTANOV A M
(Lam Res. Corp., CA, USA)
資料名:
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻:
24
号:
5
ページ:
055011,1-13
発行年:
2015年10月
JST資料番号:
W0479A
ISSN:
0963-0252
CODEN:
PSTEEU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)