文献
J-GLOBAL ID:201502214500963239
整理番号:15A1366508
デバイス応用のためのフォトリソグラフィーによる写真用紙基材上でのマイクロスケールの金属構造の製造
Fabrication of micron scale metallic structures on photo paper substrates by low temperature photolithography for device applications
著者 (2件):
COOKE M D
(Durham Univ., Durham, GBR)
,
WOOD D
(Durham Univ., Durham, GBR)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
25
号:
11
ページ:
115017,1-9
発行年:
2015年11月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)