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J-GLOBAL ID:201502214582323720   整理番号:15A1073427

高周波プラズマ支援化学蒸着法を用いて合成したa-C:H:SiOx膜の機械的特性評価

Mechanical characterization of a-C:H:SiOx coatings synthesized using radio-frequency plasma-assisted chemical vapor deposition method
著者 (11件):
BATORY D.
(Inst. of Materials Sci. and Engineering, Lodz Univ. of Technol., 1/15 Stefanowskiego St, 90-924 Lodz, POL)
BATORY D.
(Inst. for Nanomaterials, Advanced Technologies and Innovation, Technical Univ. of Liberec, 2 Studentska St, 461 17 ...)
JEDRZEJCZAK A.
(Inst. of Materials Sci. and Engineering, Lodz Univ. of Technol., 1/15 Stefanowskiego St, 90-924 Lodz, POL)
SZYMANSKI W.
(Inst. of Materials Sci. and Engineering, Lodz Univ. of Technol., 1/15 Stefanowskiego St, 90-924 Lodz, POL)
NIEDZIELSKI P.
(Inst. of Materials Sci. and Engineering, Lodz Univ. of Technol., 1/15 Stefanowskiego St, 90-924 Lodz, POL)
FIJALKOWSKI M.
(Inst. for Nanomaterials, Advanced Technologies and Innovation, Technical Univ. of Liberec, 2 Studentska St, 461 17 ...)
LOUDA P.
(Inst. for Nanomaterials, Advanced Technologies and Innovation, Technical Univ. of Liberec, 2 Studentska St, 461 17 ...)
KOTELA I.
(Dep. of Orthopedic Surgery and Traumatology, Central Res. Hospital of Ministry of Interior, 137 Woloska St., 02-507 ...)
KOTELA I.
(Inst. of Physiotherapy, The Jan Kochanowski Univ. of Humanities and Sciences, 19 IX Wiek’ow Kielc St. 25-317 Kielce, POL)
HROMADKA M.
(Dep. of Physics, Fac. of Applied Sciences, Univ. of West Bohemia, Univerzitni 8, CZ-30614 Plzen, CZE)
MUSIL J.
(Dep. of Physics, Fac. of Applied Sciences, Univ. of West Bohemia, Univerzitni 8, CZ-30614 Plzen, CZE)

資料名:
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

巻: 590  ページ: 299-305  発行年: 2015年09月01日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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