文献
J-GLOBAL ID:201502215450421150
整理番号:15A0877814
Ar/H2のrfマグネトロンスパッタによるSiとSiO2基板上のシリコンナノワイヤの成長
Silicon nanowire growth on Si and SiO2 substrates by rf magnetron sputtering in Ar/H2
著者 (6件):
YAMADA Ikumi
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
HIRANO Yutaro
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
NISHIMURA Kenkichi
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TAKAO Yoshinori
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
ERIGUCHI Koji
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
ONO Kouichi
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Applied Physics Express
(Applied Physics Express)
巻:
8
号:
6
ページ:
066201.1-066201.4
発行年:
2015年06月
JST資料番号:
F0599C
ISSN:
1882-0778
CODEN:
APEPC4
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)