文献
J-GLOBAL ID:201502215863760395
整理番号:15A1241774
EUVリソグラフィーのためのリンス材料やプロセスの評価
Evaluation of rinse material and process for EUV lithography
著者 (2件):
YAMAMOTO Kazuma
(EUVL Infrastructure Dev. Center, Inc. (EIDEC), Ibaraki, JPN)
,
ITANI Toshiro
(EUVL Infrastructure Dev. Center, Inc. (EIDEC), Ibaraki, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9422
号:
Pt.2
ページ:
94221Y.1-94221Y.7
発行年:
2015年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)