文献
J-GLOBAL ID:201502215894498176
整理番号:15A1234388
サブナノメータ表面振動の特性評価のためのストロボ全場干渉計の安定化
Stabilized Stroboscopic Full-Field Interferometer for Characterization of Subnanometer Surface Vibrations
著者 (3件):
LIPIAEINEN Lauri
(Aalto Univ., Espoo, FIN)
,
KOKKONEN Kimmo
(Aalto Univ., Espoo, FIN)
,
KAIVOLA Matti
(Aalto Univ., Espoo, FIN)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
24
号:
5
ページ:
1642-1646
発行年:
2015年10月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)