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文献
J-GLOBAL ID：201502216769156510
整理番号：15A0293112
枚葉式シリコンウエハ洗浄装置モデルのOpenFOAMによる数値計算
久米田高輝
(岡大 院)
,
清水義也
(岡大 院)
,
森洋平
(岡大 院)
,
福田修也
(岡大)
,
河内俊憲
(岡大 院)
,
柳瀬眞一郎
(岡大 院)
資料名：
日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM)
(日本機械学会中国四国支部総会・講演会(CD-ROM))
巻： 51st ページ： ROMBUNNO.1114 発行年： 2013年
JST資料番号： L0015B ISSN： 2424-2764 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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