文献
J-GLOBAL ID:201502217526451855
整理番号:15A0894537
VIS(可視)-VUV(真空紫外)エリプソメトリの改善および評価
The Improvement and Evaluation of VIS-VUV Ellipsometry
著者 (5件):
KUBO Y.
(Univ. Fukui, Fukui, JPN)
,
FUKUI K.
(Univ. Fukui, Fukui, JPN)
,
YAMAMOTO K.
(Univ. Fukui, Fukui, JPN)
,
SAITO T.
(Tohoku Inst. of Technol., Sendai, JPN)
,
HORIGOME T.
(Inst. for Molecular Sci., Okazaki, JPN)
資料名:
UVSOR Activity Report
(UVSOR Activity Report)
巻:
2014
ページ:
43
発行年:
2015年07月
JST資料番号:
L2127A
ISSN:
0911-5730
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)