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J-GLOBAL ID：201502218295480810 整理番号：15A1356692

垂直共振器面発光レーザダイオードを用いる走査速度制御の下でのナノメートル精度の周波数走査型干渉測定

Frequency scanning interferometry with nanometer precision using a vertical-cavity surface-emitting laser diode under scanning speed control

著者 (1件)：

KAKUMA Seiichi

(Hokkaido Univ., Div. of Applied Physics, Graduate School of Engineering, N13W8, Kita-ku, 060-8628, Sapporo, JPN)

資料名：

Optical Review (Web) (Optical Review (Web))

巻： 22 号： 6 ページ： 869-874 発行年： 2015年12月
JST資料番号： U0709A ISSN： 1349-9432 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

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