文献
J-GLOBAL ID:201502218461268965
整理番号:15A1263482
NbドープPZT薄膜により作動した非共鳴2次元圧電MEMS光スキャナ
Non-resonant 2-D piezoelectric MEMS optical scanner actuated by Nb doped PZT thin film
著者 (5件):
NAONO Takayuki
(FUJIFILM CORPORATION, 577 Ushijima, Kaisei-machi, Ashigarakami-gun, Kanagawa 258-8577, JPN)
,
NAONO Takayuki
(Dep. of Bioengineering and Robotics, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-01 Aramaki aza Aoba, Aoba-ku ...)
,
FUJII Takamichi
(FUJIFILM CORPORATION, 577 Ushijima, Kaisei-machi, Ashigarakami-gun, Kanagawa 258-8577, JPN)
,
ESASHI Masayoshi
(Advanced Inst. of Materials Res., Tohoku Univ., 519-1176 Aramaki aza Aoba, Aoba-ku, Sendai 980-0845, JPN)
,
TANAKA Shuji
(Dep. of Bioengineering and Robotics, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-01 Aramaki aza Aoba, Aoba-ku ...)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
233
ページ:
147-157
発行年:
2015年09月01日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)