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文献
J-GLOBAL ID：201502218461268965
整理番号：15A1263482
NbドープPZT薄膜により作動した非共鳴2次元圧電MEMS光スキャナ
Non-resonant 2-D piezoelectric MEMS optical scanner actuated by Nb doped PZT thin film
NAONO Takayuki
(FUJIFILM CORPORATION, 577 Ushijima, Kaisei-machi, Ashigarakami-gun, Kanagawa 258-8577, JPN)
,
NAONO Takayuki
(Dep. of Bioengineering and Robotics, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-01 Aramaki aza Aoba, Aoba-ku ...)
,
FUJII Takamichi
(FUJIFILM CORPORATION, 577 Ushijima, Kaisei-machi, Ashigarakami-gun, Kanagawa 258-8577, JPN)
,
ESASHI Masayoshi
(Advanced Inst. of Materials Res., Tohoku Univ., 519-1176 Aramaki aza Aoba, Aoba-ku, Sendai 980-0845, JPN)
,
TANAKA Shuji
(Dep. of Bioengineering and Robotics, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-01 Aramaki aza Aoba, Aoba-ku ...)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 233 ページ： 147-157 発行年： 2015年09月01日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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