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文献
J-GLOBAL ID：201502218668653842
整理番号：15A1145244
スパッタリングプロセスにおけるN2圧力の変化によって表れるCrN薄膜の構造特性,形態特性および腐食特性の変化
Changes in structural, morphological, and corrosion properties of CrN thin film effected by varying N2 pressure in the sputtering process
WONGTANASARASIN Wichuda
(King Mongkut’s Inst. of Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA)
,
SAKDANUPHAB Rachsak
(King Mongkut’s Inst. of Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA)
,
SUWANSUKHO Kajpanya
(King Mongkut’s Inst. of Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA)
,
SAKULKALAVEK Aparporn
(King Mongkut’s Inst. of Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA)
資料名：
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻： 659 ページ： 555-559 発行年： 2015年
JST資料番号： D0744C ISSN： 1013-9826 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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