文献
J-GLOBAL ID:201502218668653842
整理番号:15A1145244
スパッタリングプロセスにおけるN2圧力の変化によって表れるCrN薄膜の構造特性,形態特性および腐食特性の変化
Changes in structural, morphological, and corrosion properties of CrN thin film effected by varying N2 pressure in the sputtering process
著者 (4件):
WONGTANASARASIN Wichuda
(King Mongkut’s Inst. of Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA)
,
SAKDANUPHAB Rachsak
(King Mongkut’s Inst. of Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA)
,
SUWANSUKHO Kajpanya
(King Mongkut’s Inst. of Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA)
,
SAKULKALAVEK Aparporn
(King Mongkut’s Inst. of Technol. Ladkrabang, Bangkok, THA)
資料名:
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻:
659
ページ:
555-559
発行年:
2015年
JST資料番号:
D0744C
ISSN:
1013-9826
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)