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文献
J-GLOBAL ID：201502219556177947
整理番号：15A0880187
SU-8/Feコンポジットを用いた磁気駆動型マイクロバルブの開発
Development of magnetically driven micro valve using SU-8/Fe composite
鈴木淳也
(香川大)
,
寺尾京平
(香川大)
,
高尾英邦
(香川大)
,
下川房男
(香川大)
,
大平文和
(香川大)
,
鈴木孝明
(群馬大)
資料名：
日本AEM学会誌
(Journal of the Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics)
巻： 23 号： 2 ページ： 407-413 発行年： 2015年06月10日
JST資料番号： L2703A ISSN： 0919-4452 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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