文献
J-GLOBAL ID:201502219747080862
整理番号:15A1371068
真空アークマクロ粒子累積に及ぼすバイアスパラメータとプラズマ密度の影響
Influence of Bias Parameters and Plasma Density on Vacuum Arc Macroparticle Accumulation
著者 (3件):
RYABCHIKOV Alexander I.
(National Res. Tomsk Polytechnic Univ., Tomsk, RUS)
,
SIVIN Denis O.
(National Res. Tomsk Polytechnic Univ., Tomsk, RUS)
,
BUMAGINA Anna I.
(National Res. Tomsk Polytechnic Univ., Tomsk, RUS)
資料名:
Materials and Manufacturing Processes
(Materials and Manufacturing Processes)
巻:
30
号:
10-12
ページ:
1471-1475
発行年:
2015年12月
JST資料番号:
W2135A
ISSN:
1042-6914
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)