文献
J-GLOBAL ID:201502220000457493
整理番号:15A1165000
位相シフトと位相走査測定モードのNewton干渉計
Newton interferometer with phase-shifting and phase-scanning measurement modes
著者 (5件):
TRINH Hung-Xuan
(Dep. of Electro-optical Engineering, National Taipei Univ. of Technol., Taiwan)
,
LIN Shyh-Tsong
(Dep. of Electro-optical Engineering, National Taipei Univ. of Technol., Taiwan)
,
CHEN Liang-Chia
(Dep. of Mechanical Engineering, National Taiwan Univ., Taiwan)
,
YEH Sheng-Lih
(Dep. of Mechanical Engineering, Lunghwa Univ. of Sci. and Technol., Taiwan)
,
HOANG Hong-Hai
(Inst. of Automation Technol., National Taipei Univ. of Technol., Taiwan)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
234
ページ:
188-194
発行年:
2015年10月01日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)