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文献
J-GLOBAL ID：201502220000457493
整理番号：15A1165000
位相シフトと位相走査測定モードのNewton干渉計
Newton interferometer with phase-shifting and phase-scanning measurement modes
TRINH Hung-Xuan
(Dep. of Electro-optical Engineering, National Taipei Univ. of Technol., Taiwan)
,
LIN Shyh-Tsong
(Dep. of Electro-optical Engineering, National Taipei Univ. of Technol., Taiwan)
,
CHEN Liang-Chia
(Dep. of Mechanical Engineering, National Taiwan Univ., Taiwan)
,
YEH Sheng-Lih
(Dep. of Mechanical Engineering, Lunghwa Univ. of Sci. and Technol., Taiwan)
,
HOANG Hong-Hai
(Inst. of Automation Technol., National Taipei Univ. of Technol., Taiwan)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 234 ページ： 188-194 発行年： 2015年10月01日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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