文献
J-GLOBAL ID:201502220019543226
整理番号:15A0970745
IC集積の上の表面微細加工した磁力計/加速度計の結合
Surface Micromachined Combined Magnetometer/Accelerometer for Above-IC Integration
著者 (4件):
ELSAYED Mohannad Yomn
(McGill Univ., QC, CAN)
,
CICEK Paul-Vahe
(McGill Univ., QC, CAN)
,
NABKI Frederic
(Univ. Quebec a Montreal, QC, CAN)
,
EL-GAMAL Mourad N.
(McGill Univ., QC, CAN)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
24
号:
4
ページ:
1029-1037
発行年:
2015年08月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)