文献
J-GLOBAL ID:201502220261942232
整理番号:15A0842593
反応性HiPIMS中のターゲット位置決めにおけるパルス長の役割
The role of pulse length in target poisoning during reactive HiPIMS: application to amorphous HfO2
著者 (10件):
GANESAN R
(Univ. Sydney, NSW, AUS)
,
MURDOCH B J
(RMIT Univ., Victoria, AUS)
,
TREVERROW B
(Univ. Sydney, NSW, AUS)
,
ROSS A E
(Univ. Sydney, NSW, AUS)
,
FALCONER I S
(Univ. Sydney, NSW, AUS)
,
KONDYURIN A
(Univ. Sydney, NSW, AUS)
,
MCCULLOCH D G
(RMIT Univ., Victoria, AUS)
,
PARTRIDGE J G
(RMIT Univ., Victoria, AUS)
,
MCKENZIE D R
(Univ. Sydney, NSW, AUS)
,
BILEK M M M
(Univ. Sydney, NSW, AUS)
資料名:
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻:
24
号:
3
ページ:
035015,1-9
発行年:
2015年06月
JST資料番号:
W0479A
ISSN:
0963-0252
CODEN:
PSTEEU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)