文献
J-GLOBAL ID:201502220518737449
整理番号:15A1184795
非密接実装ポリスチレン球による大面積ナノパターニングおよび縦型トランジスタアレイの作製
Large-Area Nano-patterning and Fabrication of Vertical Transistor Array by Non-close-packed Polystyrene Spheres
著者 (7件):
CHEN Yen-Ming
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
LAI Yu-Yen
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
CHAO Yu-Chiang
(Chung Yuan Christian Univ., Chung-Li, TWN)
,
ZAN Hsiao-Wen
(National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
,
MENG Hsin-Fei
(National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
,
HORNG Sheng-Fu
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
CHANG Che-Hao
(National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
資料名:
ACS Applied Materials & Interfaces
(ACS Applied Materials & Interfaces)
巻:
7
号:
34
ページ:
18899-18903
発行年:
2015年09月02日
JST資料番号:
W2329A
ISSN:
1944-8244
CODEN:
AAMICK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)