文献
J-GLOBAL ID:201502221106069480
整理番号:15A0642685
真空中の生体試料の観察のため薄いSiウインドウを持つマイクロ流体チャンバ
MICRO FLUIDIC CHAMBER WITH THIN SI WINDOWS FOR OBSERVATION OF BIOLOGICAL SAMPLES IN VACUUM
著者 (3件):
HAYASHI Hideki
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
TODA Masaya
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ONO Takahito
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
28th Vol.1
ページ:
344-347
発行年:
2015年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)